香川大学 工学部 下川研究室

研究業績

著書(3編)

【著書名】 「ナノメ-タスケ-ル加工技術」
【著者等】 精密工学会調査研究委員会編 (分担執筆)
【執筆の目次タイトル等】 2.4 エネルギ-ビ-ムと固体との相互作用
2.4.1 プラズマと固体との相互作用
2.4.2 イオンと固体との相互作用
2.4.3 中性粒子と固体との相互作用
2.4.4 ラジカルと固体との相互作用
2.4.5 電子と固体との相互作用
2.4.6 レ-ザと固体との相互作用,等
【出版社名,発行年】 日刊工業新聞社出版, 1993年
【著書名】 「ナノエレクトロニクスを支える材料解析」
【著者等】 尾嶋正治,本間芳和編 (分担執筆)
【執筆の目次タイトル等】 4.4 イオンを用いたナノ加工
4.4.1 イオン,中性粒子を用いたナノ加工の基礎現象
4.4.2 低エネルギ-イオンを用いたナノ加工
4.4.3 高エネルギ-イオンを用いたナノ加工
4.4.4 中性粒子を用いたナノ加工
4.4.5 複合プロセスによるナノ加工
4.4.6 今後の課題と技術展望
【出版社名,発行年】 電子情報通信学会出版, 1996年
【著書名】 「光デバイス精密加工ハンドブック 増補改訂版」
【著者等】 板生 清ほか編  (分担執筆)
【執筆の目次タイトル等】 第1章 除去加工 第5節 ドライエッチング
 5.3 イオンビ-ムエッチング
 5.4 中性ビ-ムエッチング
第2章 付加加工 第2節 スパッタ蒸着
【出版社名,発行年】 オプトロニクス社出版 , 2003年

査読のある学術的専門誌に掲載された学術論文(34件)

  1. F. Shimokawa, K. Nagai: “A low-energy fast-atom source”, Nuclear Instruments & Methods Physics Research Section B, Vol. 33, No.1-4, pp. 867-870, Jun. 1988.
  2. H. Kuwano, F. Shimokawa: “Silicon dioxide fine patterning by reactive fast atom beam etching”, J.
    Vac. Sci. Technol. B, Vol. 6, No.5, pp. 1565-1569, Sep.-Oct. 1988.
  3. F. Shimokawa, H. Tanaka, Y. Uenishi and R, Sawada: “Reactive fast-atom beam etching of GaAs
    using Cl2 gas”, J. Appl. Phys., Vol. 66, No.6, pp. 2613-2618, Sep. 1989.
  4. F. Shimokawa, H. Tanaka, R. Sawada and S. Hara: “Continuous-wave operation and mirror loss of a
    U-shaped GaAs/AlGaAs laser diode with 2 totally reflecting mirrors”, Appl. Phys. Lett., Vol. 56, No.17, pp. 1617-1619, Apr. 1989.
  5. H. Tanaka, F. Shimokawa, T. Sasaki and T. Matsuoka: “Reactive fast atom beam etching of a wide
    gap semiconductor GaN”, Optoelectronics Devices and Technologies, Vol. 60, No.1, pp. 150-153, June 1991.
  6. F. Shimokawa, H. Kuwano: “Energy distribution and formation mechanism of fast atoms in a fast
    atom beam”, J. Appl. Phys, Vol. 72, No.1, pp. 13-17, Jul. 1992.
  7. F. Shimokawa: “High-power fast-atom beam source and its application to dry etching”, J. Vac. Sci.
    Technol. A, Vol. 10, No.4, pp. 1352-1357, Jul./Aug. 1992.
  8. R. Sawada, H. Tanaka, O. Ouguchi, J. Shimada and F. Shimokawa: “Fabrication of optical
    microencorder”, Int. J. Japan Soc. Prec. Eng., Vol. 28, No.1, pp. 1-4, Mar. 1994.
  9. A. Furuya, F. Shimokawa, T. Matsuura and R. Sawada: “Fluorinated polyimide fabrication by
    magnetically controlled reactive ion etching (MC-RIE)”, Journal of Micromechanics and
    Microengineering, Vol. 4, No.2, pp. 67-73, Sep.1994.
  10. F. Shimokawa, H. Kuwano: “New high-power fast atom beam source”, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.
    12, No.5, pp. 2739-2744, Sep.-Oct. 1994.
  11. Y. Hanaoka, F. Shimokawa and Y. Nishida: “Low-loss intersecting grooved wave-guides with low
    delta for a self-holding optical matrix switch”, IEEE Transaction on Components Packaging and Manufacturing Technology part-B, Vol. 18, No.2, pp. 241-244, May 1995.
  12. S. Koike, F. Shimokawa, T Matsuura and H. Takahara: “New optical and electrical hybrid packaging techniques using optical waveguides for optoelectronic multichip module”, IEEE Transaction on Components Packaging and Manufacturing Technology part-B, Vol. 19, No.1, pp. 124-130, Feb.1996.
  13. A. Furuya, F. Shimokawa, T. Matsuura and R. Sawada: “Fabrication of fluorinated polyimide
    microgrids using magnetically controlled reactive ion etching (MC-RIE) and their applications to an
    ion drag integrated micropump”, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 6, No.3,
    pp. 310-319, Sep. 1996.
  14. M. Makihara, F. Shimokawa and Y. Nishida:“Self-holding optical waveguide switch controlled by
    micromechanisms”, IEICE Transaction on Electronics”, Vol. E80C, No.2, pp. 274-279, 1997.
  15. M. Makihara, M. Sato, F. Shimokawa and Y. Nishida: “Micromechanical optical switches based on
    thermocapillary integrated in waveguide substrate”, J. of Lightwave Technology, Vol. 17, No.1, pp.
    14-18, 1999.
  16. T. Sakata, M. Sato and F. Shimokawa: “Wavelength dependence of insertion loss caused by
    intermodal interference”, Electron. Lett., Vol. 35, No.16, pp. 1370-1371, Aug. 5 1999.
  17. 下川 房男 佐藤 誠, 牧原 光宏, 稲垣 秀一郎, 西田 安秀: “熱毛管型光導波路
    スイッチの開発”, 精密工学会誌, Vol. 66, No.8, pp. 1173-1176, 4月号. 2000.
  18. T. Sakata, H. Togo and F. Shimokawa: “Reflection-type 2×2 optical waveguide switch using the
    Goos-Hanchen shift effect”, Appl. Phys. Lett., vol. 76, No.20, pp. 2841-2843, May. 15 2000.
  19. T. Sakata, H. Togo, M. Makihara, F. Shimokawa and K. Kaneko: “Improvement of switching time
    in a thermocappillarity optical switch”, J. of Lightwave Technology, Vol. 19, No.7, pp. 1023-1027,
    2001.
  20. R. Sawada, E. Higurashi, F. Shimokawa, O. Ohguchi and A. Tago: “Silicon (110) grid for ion beam processing systems” , Journal of micromechanics and microengineering, Vol. 11, No.5, pp. 561-566, Sep. 2001.
  21. F.Shimokawa:
    “A new high-performance ion source based on magnetically neutral loop 
    discharge”, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 49, pp. 116001-1-116001-4, 2010.
  22. K. Terao, C. Kakita, N. Nagase, N. Miyanishi, T. Suzuki, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira:
    “Evaluation of Electrodeposited Gold Nanostructures for Applications in QCM Sensing”
    Analytical Sciences, Vol. 28, No. 3, pp. 291-294, March 2012.
  23. M. Inoue, A. Okonogi , K. Terao , H. Takao , F. Shimokawa, F. Oohira, H. Kotera , T. Suzuki:
    “Cell Culture on MEMS Materials in Micro-Environment Limited by a Physical Condition”
    Micro & Nano Letters, 2012.
  24. K. Oda, H. Takao, K. Terao, T. Suzuki, F. Simokawa, F. Oohira:
    “Vertical Comb-Drive MEMS Mirror with Sensing Function for Phase-Shift Device”
    Sensors and Actuators A Physical, Vol. 181, pp. 61-69, 2012.
  25. N. Nagase, K. Terao, N. Miyanishi, K. Tamai, N. Uchiyama, T. Suzuki, H. Takao, F. Shimokawa,
    F. Oohira,“Signal Enhancement of Protein Binding by Electrodeposited Gold Nanostructures for
    Application in Kretschmann-Type SPR Sensor” Analyst, Vol. 137, No.21, pp. 5034-5040, Sept. 2012.
  26. 赤松幹夫, 寺尾京平, 高尾英邦, 下川房男, 大平文和, 鈴木孝明:
    “多層塗布による高精度厚膜スプレーコート法の開発”
    電気学会論文誌E センサ・マイクロマシン部門誌, Vol. 133, No. 5, pp. 170-176, 2013.
  27. 鈴木孝明, 寺尾京平, 鈴木博之, 新田祐幹, 高尾英邦, 下川房男, 大平文和, 平丸大介,
    小寺秀俊:
    “MEMS技術を利用した高速DNAファイバ解析デバイスの開発”
    電気学会論文誌E センサ・マイクロマシン部門誌, Vol. 133, No. 5, pp. 139-146, 2013.
    【第70回電気学術振興賞 論文賞を受賞】
  28. 伊藤将寛, 武田知也, 鈴木孝明, 高尾英邦, 大平文和, 下川房男, 筒井靖之, 林宏樹, 今野
    隆, 朝日一平, 杉本幸代, 二宮英樹
    “マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ[1] -超厚膜樹脂を用いた高精度なマイクロ光学ベンチの製作-”電気学会論文誌E センサ・マイクロマシン部門誌, Vol. 133, No. 6, pp. 237-242, 2013.
  29. 朝日一平, 杉本幸代, 二宮英樹, 下川房男, 高尾英邦, 大平文和, 筒井靖之, 林宏樹, 今野
    隆:“マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ[II] -ラマン散乱型と
    紫外吸収分光型ガスセンサの特性-” 電気学会論文誌E センサ・マイクロマシン部門誌,
    Vol. 133, No. 9, pp. 260-266, 2013.
  30. Y. Maeda, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, H. Takao
    “A Post-Complementary Metal Oxide Semiconductor Formation Process of High-Adhesiveness SU-8 Structures for Reliable Fabrication of Integrated Microelectromechanical System Sensors”
    Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 52, Issue 6, pp. 06GL18-06GL18-5, 2013.
  31. 植田勇作, 中原佐, 寺尾京平, 高尾英邦, 下川房男, 大平文和,小寺秀俊, 鈴木孝明
    “感光性磁気ナノ複合材料を用いた電磁マイクロポンプの開発”
    日本AEM学会誌, 2014.06
  32. TERAO Kyohei; Hiramatsu Shin-ichi; SUZUKI Takaaki; TAKAO Hidekuni; SHIMOKAWA
    Fusao; OOHIRA Fumikazu
    “Fast protein detection from raw blood by size-exclusion SPR sensing”,Analytical Methods,2015
  33. 鈴木淳也; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 大平文和; 鈴木孝明
    “SU-8/Feコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロバルブの開発” 日本AEM学会誌,2015
  34. 越智 誠,矢野 裕也,寺尾 京平,鈴木 孝明,高尾 英邦,下川 房男,小林 剛,片岡 郁雄,
    “MEMS技術を用いた超小型道管流センサ” 日本生態学会誌,(採択済み)

査読付きの国際会議論文(58件)

  1. F. Shimokawa, K. Nagai: “A low-energy fast-atom source”, Proc. of the 12th Int. Conf. on Atomic Collisions in Solids, pp.867-870, Okayama University of Science, Okayama, Japan, October 12-16, 1987.
  2. H. Tanaka, F. Shimokawa, R. Sawada and S. Hara: A GaAs/AlGaAs bent Waveguide laser with tottaly reflection mirrors, Conference on Laser and Electro-Optics, CLEO’90, Anaheim, CTHI2, pp.380-381, CA, USA, May.21-25, 1990.
  3. F. Shimokawa, A. Furuya and S. Matsui: “Fast and extremely selective polyimide etching with a magnetically controlled reactive ion etching system”, Proc. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS ’91), pp.192-197, Nara, Japan, Jan. 30-Feb. 2, 1991. 
  4. F. Shimokawa: “High-power fast-atom beam source and its application to dry etching”, Proc. of the 38th National Symposium of the American Vacuum Society, PS-FrM2, pp.386, Seattle, WA, USA, Nov. 11-15, 1991.
  5. F. Shimokawa, S. Koike and T. Matuura: “Fabrication of fluorinated polyimide waveguide on copper-polyimide multilayer substrates for opto-electronic multilayer substrate”, Proc. of the IEEE 43rd Electronic Components and Technology Conference (ECTC ’93), pp.705-710, Orlando, FL, USA, June 1-4,1993.
  6. A. Furuya, F. Shimokawa, T. Matsuura and R. Sawada: “Micro-grid fabrication of fluorinated polyimide by using magnetically controlled reactive ion etching (MC-RIE)”, Proc. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS ’93), pp.59-64, Fort Lauderdale, Fl, USA, Feb. 7-10,1993.
  7. Y. Hanaoka, F. Shimokwa and Y. Nishida: “Low loss intersecting grooved waveguides with low delta for self-holding optical matrix switch”, Proc. of IEEE 44rd Electronic Components and Technology Conference (ECTC ’94), pp.621-624, Washington, DC, USA, May 21-24,1994.
  8. M. Makihara, F. Shimokwa and Y. Nishida: “Self-holding optical waveguide switch controlled by micromechanisms”, Proc. of IEEE 45rd Electronic Components and Technology Conference (ECTC ’95), pp.418-422, Las Vegas, NV, USA, May. 21-24, 1995.
  9. T. Shoji, F. Shimokawa and Y. Nishida: “Optical device positioning by using becke lines”, International Conference on Laser Interferometry III, pp.287-294, Denver, CO, USA, Aug.. 6-7 1996.
  10. F. Shimokawa and Y. Nishida: “ Fast dry etching with new high density plasma”, Proc. of the 43rd National Symposium of the American Vacuum Society, PS1-MoM10, pp. 11, Philadelphia, PA USA, Oct. 14-18, 1996.
  11. M. Sato, M. Makihara F. Shimokawa and Y. Nishida: “Self-latching waveguide optical switch based on thermo-capillarity”, 11th International Conference on Integrated Optics and Optical Fiber Communications. 23rd European Conference on Optical Communications (IOOC-ECOC ’97 ), Vol.2, pp.73-76, Edinburgh, UK, Sep. 22-25, 1997.
  12. F. Shimokawa: “New dry etching system using high-density plasma source for an optical microelectromechanical system”, Technical Digest of the International Conference on Optical MEMS and Their Applications (MOEMS’97 ), pp. 74-79, Nara, Japan, Nov. 18-21, 1997.
  13. M. Sato, F. Shimokawa, M. Makihara and Y. Nishida: “Two types thermo-capillary optical switches”, Technical Digest of the International Conference on Optical MEMS and Their Applications (MOEMS’97 ), pp. 238-242, Nara, Japan, Nov. 18-21, 1997.
  14. M. Sato, F. Shimokawa S. Inagaki and Y. Nishida: “Waveguide optical switch for 8:1 standby system of optical line terminals”, Technical Digest of the Optical Fiber Communication Conference (OFC ’98 ), pp.194-195, San Jose, CA, USA, Feb. 22-27, 1998.
  15. F. Shimokawa and Y. Nishida: “A new high-power ion source and based in magnetically neutral loop discharge”, Proc. of the 45th International Symposium of the American Vacuum Society, VT-MoP3, pp. 55, Baltimore, MD USA, Nov. 2-6, 1998.
  16. H. Togo M. Sato and F. Shimokawa: “Multi-element thermo-capillary optical switch and sub-nanoliter oil injection for its fabrication”, Technical Digest of 12th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS ’99), pp.418-423, Orlando, FL, USA, Jan. 17-21, 1999. 【採択率:約37%】
  17. M. Makihara, F. Shimokawa and K. Kaneko: “Strictly non-blocking N×N thermocapillarity optical matrix switch with silica-based waveguide”, Technical Digest of Optical Fiber Communication Conference (OFC 2000), pp.207-209, Baltimore, MD, USA, Jan. 17-21, 2000.
  18. T. Sakata, H. Togo M. Makihara, F. Shimokawa and K. Kaneko: “Improvement of switching time in a thermocapillarity optical switch”, Technical Digest of Optical Fiber Communication Conference (OFC 2001), WX3-1-3, Anaheim, CA, USA, Mar. 21, 2001. 【招待講演】
  19. T. Sakata, M. Makihara and H. Togo and F. Shimokawa: “Optical switch based on thermocapillarity”, Technical Digest of Information Technology and Communications (ITCom 2001), pp.55-63, Denver, CO, USA, Aug. 19-24, 2001. 【招待講演】
  20. T. Sakata, M. Makihara H. Togo F. Shimokawa and K. Kaneko: “Optical switch based on thermocapillarity”, Extend Abstracts of Solid State Device Meeting (SSDM 2001), E-9-5, pp. 618-619, Tokyo, Japan, Sep. 26-28, 2001.
  21. M. Sato, M. Makihara, F. Shimokawa and S. Matsui: “Small-footprint thermocapillary optical switch with a heater array on a COS IC chip”, Technical Digest of Optical Fiber Communication Conference (OFC 2004), pp.3, Los Angels, CA, USA, 2004. 
  22. N. Nemoto, J. Yamaguchi and F. Shimokawa: “Effect of AC drive in control of MEMS mirror tilt angle”, Proc. of the 2009 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2009), pp.329-330, Tsukuba, Ibaraki, Japan, June 17-20, 2009. 
  23. M. Usui, S. Uchiyama, E. Hashimoto, K. Hadama, Y. Ishii, N. Matsuura, T. Sakata, N.Shimotama, Y. Sato, H. Ishii, T. Matsuura, F. Shimokawa and Y. Uenishi: “Electrically separated two-axis MEMS mirror array module for wavelength selective switches”, International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics (Optical MEMS & Nanophotonics 2009), pp.158-159, Clearwater Beach, FL, USA, Aug. 17-20, 2009.  【招待講演】
  24. M. Mizukami, J. Yamaguchi, N. Nemoto, Y. Kawagiri, H. Hirata, S. Uchiyama, M. Makihara, T. Sakata, N. Shimoyama, J. Ishii and F. Shimiokawa: “128×128 3D-MEMS optical switch module with simultaneous optical paths connection for optical cross-connect systems”, Technical Digest of International Conference on Photonics in Switching 2009 (PS 2009) , WeI3-4, Pisa, Italy, Sep. 15-18, 2009. 【採択率:49%】
  25. Y. Ishii, K. Hadama, J. Yamaguchi, E. Hashimoto, T. Matsuura, and F. Shimokawa: “MEMS-based 1×43 wavelength-selective switch with flat passband”, Post Deadline Paper of ECOC (ECOC 2009), PD.1.9, PP.32-33, Vienna,Austria, Sep. 20-24 2009. 【採択率(Post Deadline Paper 発表):33%】
  26. T. Sakata, M. Usui, S. Uchiyama N. Shimoyama J. Kodate, H. Ishii, F. Shimakawa and Y. Sato: “High-aspect-ratio gold electrodes fabricated by thick-multilevel interconnection technology for electrical isolation of MEMS mirrors in wavelength-selective switches”, The 22nd Annual Meeting of the IEEE Photonics Society, WV2, Belek-Antalya, Turkey, 2009.
  27. Y. Kawajiri, N. Nemoto, T. Yamamoto, J. Yamaguchi, M. Makihara, Y. Ishii, K. Sasakura and F. Shimokawa:“512×512 port 3D MEMS optical switch module with toroidal concave mirror”, Technical Digest of 15th Microoptics Conference (MOC’09) , G1, Odiba, Tokyo, Japan, Oct. 25-28, 2009.  【Best Paper Award受賞】 【採択率:93%】
  28. K. Hadama, Y. Ishii, N. Matsuura, M. Usui, E. Hashimoto, T. Matsuura and F. Shimokawa: “Low-crosstalk wavelength-selective switch using MEMS mirror array integrated with a Z-shaped alignment mark”, Technical Digest of 15th Microoptics Conference (MOC’09) G2, Odiba, Tokyo, Japan, Oct. 25-28, 2009.  【採択率:93%】
  29. M. Mizukami, J. Yamaguchi, N. Nemoto, Y. Kawagiri and F. Shimokawa: “Fast and highly stable peak optical search algorithm based on motion control of MEMS”, Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology, 2P6-2, Kitakyushu, Japan, Nov.11-13, 2009.
  30. S. Uchiyama, M. Sato, T. Sakata and F. Shimokawa: “New H-shape soft spring and its micro mirror application”, MEMS 2010.
  31. H. Takao, M. Sugiura, M. Ishida, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, F. Oohira,
    “Micro Fluidic Circuit Design with “SPICE Simulation”,
    Proceedings of The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011), pp. 608-611, Jan.23-27, Cancun Mexico, 2011. 【採択率40%未満】
  32. T. Mishima, T. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, T. Suzuki, “Crystalline Anisotropic Dry
    Etching for Single Crystal Silicon” ,
    Proceedings of The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011), pp. 608-611, Jan.23-27, Cancun Mexico, 2011. 【採択率40%未満】
  33. Y. Hosokawa, T. Nakahara, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, and T. Suzuki
    ”Fabrication of a Magnetically-Driven Microstructure Made of Magnetic Nanoparticles/SU-8 Composite”
    Proceedings of the 6th International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology (MMB2011) , pp.74-75, May 4-6, Lucerne Switzerland, 2011.
  34. M. Arai, K. Terao, T. Suzuki, F. Simokwa, F. Oohira, and H. Takao
    “A Venturi-type Micro Mist Generator Fabricated by MEMS Technology and Its Application to Local Surface Cooling of Target Objects”,
    Proceedings of 24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2011) , 2pages in CD-ROM, ANA Hotel Kyoto, Japan, October 24-27, 2011.
  35. M. Arai, K. Terao, T. Suzuki, F. Simokawa, F. Oohira, and H. Takao
    “Air-Flow Based Multifunctional Tactile Display Device with Multi-Jet Integrated Micro Venturi Nozzle Array”
    Proceedings of 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2012), pp. 148-151, Paris France, Jan. 29th-Feb. 2nd, 2012. 【採択率36%,口頭発表上位5%以内】
  36. T. Nakahara, Y. Hosokawa, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, T. Namazu, H. Kotera, T.
    Suzuki
    “Self-Aligned Fabrication Process for Active Membrane Made of Photosensitive Nanocomposite”
    Proceedings of 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2012), pp. 1181-1184, Paris France, Jan. 29th-Feb. 2nd, 2012. 【採択率36%】
  37. M. Akamatsu, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, T. Suzuki
    “Improvement of Coating Uniformity for Thick Photoresist Using a Partial Spray Coat”
    Technical digest of 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS2012), W3P-33, March 5-8, Kyoto, Japan, 2012.
  38. M. Inoue, A. Okonogi, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, H. Kotera, T. Suzuki
    “Cell Culture on MEMS Materials in Micro-Environment Limited by a Physical Condition”
    Technical digest of 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS2012), W4A-3, March 5-8, Kyoto, Japan, 2012.
  39. T. Nakahara; Y. Hosokawa; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Miyagawa; T.
    Namazu; H. Kotera; T. Suzuki
    “A Magnetic-Driven Membrane Made of Photosensitive Nanocomposite without Alignment Process ”
    Technical digest of 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems [IEEE NEMS2012] ,2012
  40. Kentaro Oda; Hidekuni Takao; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Ichiro Ishimaru;
    Fumikazu Oohira
    “Vertical Comb-Drive MEMS Mirror with Sensing Function for Phase-Shift Device ”
    Sensors and Actuators A Physical, 2012.04
  41. R. Shinozaki, F. Oohira, T.Suzuki, F. Simokawa, and H.Takao
    “Design and Fabrication of Electrostatically Driven In-Plane MEMS Rotational Mirror with Electrostatic Rotary Encoder”,
    Proceedings of 2012 International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics, 2pages in CD-ROM, Banf, Canada, Aug. 6-9, 2012.
  42. T. Nakahara, J. Suzuki, Y. Hosokawa, Y. Ueda, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, H.
    Miyagawa, H. Kotera and T. Suzuki,
    “Improvement of Processing Reproducibility for a Magnetic-Driven Microstructure Made of Photosensitive Nanocomposite”
    Proceedings of 2012 International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics, 2pages in CD-ROM, Banf, Canada, Aug. 6-9, 2012.
  43. Y. Maeda, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, and H. Takao
    “A Post-CMOS Process of High Adhesion SU-8 Structure to Apply to Sensor Device”
    Proceedings of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012), Kobe, Japan, Oct. 30-Nov. 2, 2012.
  44. Y. Maeda, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, and H. Takao
    “A Novel Integrated Tactile Image Sensor for Detection of Surface Friction and Hardness Using the Reference Plane Structure”
    Proceedings of IEEE Sensors2012 Conference, Taipei, Taiwan, Oct. 28-31, 2012.
  45. M. Inoue, A. Okonogi, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, H. Kotera, T. Suzuki
    “Development of a Universal Integrated Micro Cell Culture System”
    The 6th International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE NANOMED2012), pp. 70-73, 2012.
  46. Y. Nitta, H. Suzuki, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, T. Suzuki
    “Large Area 3D Microfabrication Technique by Multidirectional Photolithography for a chromosome extension chip”
    Proceedings of The 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2012), pp. 1822-1824, 2012.
  47. T. Suzuki, K. Terao, H. Suzuki, Y. Nitta, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, D. Hiramaru, H.
    Kotera
    “DNA Fiber Preparation Technique on a Chip for Clinical Diagnosis”
    Proceedings of The 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2012), pp. 272-274, 2012.
  48. K. Terao, S. Hiramatsu, K. Shimizu, N. Miyanishi, T. Suzuki, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira
    “Fast whole blood testing for detecting biomarkers by size-exclusion SPR sensing”
    Proceedings of The 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2012), pp. 186-188, 2012.
  49. C. Masuda, K. Terao, H. Oana, M. Washizu, T. Suzuki, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira
    “Optically-Driven Microstructures for Manipulating Single DNA Molecule under Fluorescence Microscop”
    Proceedings of 38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012), Ref.P409-355 (2pages in CD-ROM), 2012.
  50. M. Inoue, A. Okonogi, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, H. Kotera, T. Suzuki
    “Development of a Universal Integrated Micro Cell Culture System”
    Proceedings of the 6th International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (NANOMED2012), pp.70-73, Nov. 4-7, Bangkok, Thailand, 2012.
  51. H. Yamasaki, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, and H. Takao
    “Patternable Atmospheric-Pressure Plasma Jets with Gas Discharge in Microfluidic Channel Array”
    Proceedings of 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2013), pp. 205-208, Taipei, Taiwan, Jan. 20-24, 2013.
  52. M. Ochi, T. Suzuki, H. Takao, F. Shimokawa, T. Kobayashi, I. Kataoka
    “Micro Sap Flow Sensor Using MEMS Technology for Application to Biological Information Measurement of Plants ”
    Third International Conference on Plant Vascular Biology, 2013.07
  53. J. Suzuki, T. Miura, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, T. Namazu, F. Oohira, and T. Suzuki
    “Dual-Axis Polymer-MEMS Mirror Made of Photosensitive Nanocomposite”
    Proceedings of IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference (OMN2013), pp.101-102, Aug. 18-22, Kanazawa, Japan, 2013.
  54. H. Yamashita, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, and T. Suzuki
    “Iintegration of Angular Rate Sensor on Large Deflection Polymer-MEMS Mirror”
    Proceedings of IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference (OMN2013), pp.69-70, Aug. 18-22, Kanazawa, Japan, 2013.
  55. Y. Oka, R. Shinozaki, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, F. Oohira, and H. Takao
    “Assist-Free Assembry Technique of Standing Optical Devices on Soft Spring Actuator Stages”
    Proceedings of 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2014), (Accepted), San Francisco, USA, Jan. 26-30, 2014.
  56. Y. Yano, M. Ochi,K. Terao,T. Suzuki, H. Takao, F. Shimokawa, T. Kobayashi, I. Kataoka
    “Microscale Phloem Flow Sensor Fabricated Using MEMS Technology For Measuring Biological Information of Plant Branches ”
    NANOSciTech2014 & IC-NET2014, 2014.03
  57. TERAO Kyohei; MASUDA Chihiro; INUKAI Ryo; GEL Murat; OANA Hidehiro; WASHIZU
    Masao; SUZUKI Takaaki; TAKAO Hidekuni; SHIMOKAWA Fusao; OOHIRA Fumikazu
    “Characterization of optically-driven microstructures for manipulating single DNA molecules under a fluorescence microscope ”
    IET Nanobiotechnology,2015, 2015.01
  58. Y. Maeda, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, H. Takao
    “A TACTILE SENSOR WITH THE REFERENCE PLANE FOR DETECTION ABILITIES OF FRICTIONAL FORCE AND HUMAN BODY HARDNESS AIMED TO MEDICAL APPLICATIONS ”
    Proceedings of 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2015), 2015.01
  59. S. Kosai, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, H. Takao
    “A NOVEL CONFIGURATION OF TACTILE SENSOR TO ACQUIRE THE CORRELATION BETWEEN SURFACE ROUGHNESS AND FRICTIONAL FORCE ”
    Proceedings of 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2015), 2015.01

登録特許(国内特許:54件, 外国特許:10件)

  1. 桑野博喜,下川房男,長井一敏:「固体潤滑膜および作製方法」,特許第1546890号,
    1990年2月28日
  2. 桑野博喜,下川房男,長井一敏:「蒸着膜形成装置」,特許第1590800号,
    1990年11月30日
  3. 長井一敏,桑野博喜,下川房男:「収束性高速原子線源」特許第1821789号,
    1994年2月10日
  4. 下川房男,桑野博喜,長井一敏:「薄膜形成方法および装置」,特許第1873114号,
    1994年9月26日
  5. 長井一敏,桑野博喜,下川房男:「二次イオン質量分析計」,特許第1877102号,
    1994年10月7日
  6. 桑野博喜,長井一敏,下川房男:「ホウ素薄膜の形成方法」,特許第1882655号,
    1994年11月10日
  7. 下川房男,桑野博喜,長井一敏:「高速原子線源」,特許第1885392号,
    1994年11月22日
  8. 長井一敏,桑野博喜,下川房男:「高速原子線源の起動装置」,特許第1885411号,
    1994年11月22日
  9. 桑野博喜,長井一敏,浅沼吉光,下川房男:「固体潤滑膜の作製方法」,特許第1930406号,1995年5月12日
  10. 桑野博喜,長井一敏,下川房男:「高速原子線源装置」,特許第1933589号,
    1995年5月26日
  11. 下川房男,桑野博喜,長井一敏:「高速原子線源」,特許第1940745号,1995年6月9日
  12. 長井一敏,下川房男:「イオン源」,特許第1956210号,1995年7月28日
  13. 桑野博喜,長井一敏,下川房男:「マイクロ高速原子線源装置」,特許第1961224号,1995年8月10日
  14. 長井一敏,下川房男:「高速原子線源」,特許第1966146号,1995年8月25日
  15. 長井一敏,下川房男:「高速原子線源」,特許第1966206号,1995年8月25日
  16. 長井一敏,下川房男:「イオン中和器」,特許第1963320号,1995年8月25日
  17. 長井一敏,下川房男:「高速原子線源」,特許第1966207号,1995年8月25日
  18. 下川房男,長井一敏:「高速原子線源」,特許第1974248号,1995年9月27日
  19. 長井一敏,下川房男:「高速原子衝撃型二次イオン質量分析計」,特許第1976965号,1995年10月17日
  20. 長井一敏,桑野博喜,下川房男:「真空計」,特許第1993358号,1995年11月22日
  21. 桑野博喜,下川房男,長井一敏:「乾式エッチング装置」,特許第2004718号,
    1995年12月20日
  22. 下川房男,桑野博喜,長井一敏:「粒子線源」特許第2021622号,1996年2月26日
  23. 下川房男,桑野博喜,長井一敏:「粒子線源,特許第2021623号,1996年2月26日
  24. 下川房男,桑野博喜,長井一敏:「高速原子線源」,特許第2021624号,1996年2月26日
  25. 長井一敏,下川房男:「収束性高速原子線源」,特許第2028931号,1996年3月19日
  26. 長井一敏,下川房男:「高速原子線源」,特許第2029176号,1996年3月19日
  27. 下川房男,長井一敏:「高速原子線源」,特許第2029177号,1996年3月19日
  28. 下川房男,長井一敏:「高速原子線源」,特許第2029181号,1996年3月19日
  29. 長井一敏,下川房男:「イオン中和器」,特許第2029188号,1996年3月19日
  30. 長井一敏,下川房男:「イオン中和器」,特許第2034690号,1996年3月28日
  31. 長井一敏,下川房男:「高速原子線源」,特許第2636848号,1997年4月25日
  32. 下川房男,長井一敏:「高速原子線源装置」,特許第2729502号,1997年12月19日
  33. 都甲浩芳,下川房男,阪田知巳,牧原光宏:「光スイッチ」,特許第3061134号,
    2000年4月28日
  34. 牧原光宏,下川房男,佐藤誠:「光スイッチ」,特許第3077758号,2000年6月16日
  35. 佐藤誠,下川房男,西田安秀,牧原光宏:「光スイッチ及びその組立方法」,
    特許第3144627号,2001年1月5日
  36. 阪田知巳,下川房男,都甲浩芳:「偏波低依存の導波路型光部品」,特許第3181268号,
    2001年4月20日
  37. 佐藤誠,都甲浩芳,下川房男,西田安秀:「光スイッチ及び光スイッチの製造方法」,
    特許第3187745号,2001年5月11日
  38. 花岡頼子,西田安秀,下川房男:「マトリクス光導波路スイッチモジュール」,
    特許第3189193号,2001年5月18日
  39. 下川房男:「ドライエッチング装置」,特許第3236928号,2001年10月5日
  40. 荘司哲史,下川房男,西田安秀:「光部品精密位置決め方法」,特許第3289582号,
    2002年3月22日
  41. 阪田知巳,佐藤誠,下川房男:「波長低依存の導波路型光部品」,特許第3295039号,2002年4月5日
  42. 牧原光宏,西田安秀,下川房男,花岡頼子:「光スイッチ」,特許第3319248号,
    2002年6月21日
  43. 古谷彰教,下川房男,廣野滋:「イオンエッチング方法および装置」,特許第3343818号,
    2002年8月30日
  44. 古谷彰教,下川房男:「イオンエッチング方法および装置」,特許第3343819号,
    2002年8月30日
  45. 古谷彰教,下川房男:「マグネトロン放電用カソード」,特許第3343820号,
    2002年8月30日
  46. 都甲浩芳,佐藤誠,下川房男:「ポリマ導波路光スイッチの組立方法」,
    特許第3429196号,2003年5月16日
  47. 阪田知巳,佐藤誠,下川房男:「光スイッチアレイ及びこれを用いた光アド・ドロップ
    マルチプレクサ」,特許第3566086号,2004年6月18日
  48. 阪田知巳,下川房男,牧原光宏,都甲浩芳:「導波路型光部品」特許第3570956号,
    2004年7月2日
  49. 下川房男,阪田知巳:「導波路型光スイッチおよびスイッチング時間の制御方法」,
    特許第3808344号,2006年5月26日
  50. 下川房男,佐藤誠,牧原光宏,笹倉久仁彦:「エッチング用マスク及びその形成方法」,
    特許第4069041号,2008年1月18日
  51. 下川房男,佐藤誠,牧原光宏,笹倉久仁彦:「エッチング用マスク及びその形成方法」,
    特許第4087813号,2008年2月29日
  52. 下川房男,佐藤誠,牧原光宏:「ドライエッチング装置」,特許第4246591号,
    2009年1月16日
  53. 下川房男,佐藤誠,牧原光宏:「ドライエッチング装置」,特許第4246592号,
    2009年1月16日
  54. 下川房男,内山真吾:「ミラー素子の製造方法」,特許第4339863号,2009年7月10日
  1. T. Matsuura, T. Ichino, S. Ando, F. Shimokawa, S. Koike, S. Nishi, S. Sasaki and F. Yamamoto:
    「Polyimide optical waveguide」,US(United State of America) 5108201, Apr. 28, 1992
  2. T. Matsuura, T. Ichino, S. Ando, F. Shimokawa, S. Koike, S. Nishi, S. Sasaki and F. Yamamoto:
    「Polyimide optical waveguide」,CA(Canada) 2041133, Jan.3, 1995

  3. T. Matsuura, T. Ichino, S. Ando, F. Shimokawa, S. Koike, S. Nishi, S. Sasaki and F. Yamamoto:
    「Polyimide optical waveguide」,DE(Germany) 0454590, Jun. 26, 1996

  4. T. Matsuura, T. Ichino, S. Ando, F. Shimokawa, S. Koike, S. Nishi, S. Sasaki and F. Yamamoto:
    「Polyimide optical waveguide」,EP 0454590, Jun. 26, 1996

  5. T. Matsuura, T. Ichino, S. Ando, F. Shimokawa, S. Koike, S. Nishi, S. Sasaki and F. Yamamoto:
    「Polyimide optical waveguide」,FR(France) 0454590, Jun. 26, 1996
  6. T. Matsuura, T. Ichino, S. Ando, F. Shimokawa, S. Koike, S. Nishi, S. Sasaki and F. Yamamoto:
    「Polyimide optical waveguide」,GB(United Kingdom) 0454590, Jun. 26, 1996
  7. M. Sato, F. Shimokawa, Y. Nishida, M. Makihara and H. Togo:「Optical switch and method for
    assembling the same」,US(United State of America) 6072924, Jun. 6, 2000
  8. M. Makihara, F. Shimokawa and M. Sato:「Optical switch」,
    US (United State of America) 6396974, May 28, 2002
  9. T. Sakata, F. Shimokawa, H. Togo and M. Makihara:「Optical switch」,
    US (United State of America) 6445854, Sep. 3, 2002
  10. F. Shimokawa, S. Uchiyama, J. Yamaguchi, M. Sato, K. Sasakura, H. Morita, S. Inagaki,
    M. Murakami, K. Machida and H. Ishii:「Mirror device, mirror array, optical switch, mirror device
    manufacturing method, and mirror substrate manufacturing method」,CN(China)
    ZL200580019625.1, Jan.14, 2009
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